合肥芯碁微电子装备股份有限公司,于2015年6月成立于合肥市高新技术开发区,专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及无掩膜光刻设备的研发和生产,于2021年4月在科创板上市,公司股票代码 688630,中国直写光刻设备第一股。 作为国内直写光刻设备龙头企业,公司坚持自主研发与创新,拥有完整的自主知识产权。 凭借团队领先的研发水平,公司目前拥有知识产权百余项 ,并获批建立了“外国专家工作室”和“第十批省级博士后科研工作站”。