研究所长期致力于研究激光微纳制造机理、方法、装备和应用。 现有美国机械工程学会会士/美国光学学会会士3名,国家重点研发计划总体专家组组长/首批国家科技创新领军/教育部科技委学部委员/长江/杰青/973首席/863主题专家1名,长江讲座教授1名,短期外专千人教授1名,青年长江/国家优青/国家青千/中组部青年拔尖5人,教育部新世纪优秀人才2人。 研究所学术带头人为姜澜教授。 研究所与美国内布拉斯加大学、密苏里大学、加州大学伯克利、普林斯顿大学有紧密的科研合作。 近3年,研究所牵头获得国家自然科学二等奖1项、何梁何利科技创新奖1项、教育部自然科学奖一等奖1项、教育部技术发明一等奖1项。 研究所牵头建有复杂微细结构加工技术国家级创新中心、工业和信息化部“非硅微纳制造”重点实验室;牵头承担了科技部973项目、国家重点研发计划项目、国家重大科技专项课题、国家自然科学基金委重大研究计划集成项目和重点项目、国家杰出青年科学基金、优秀青年基金等。