上海交通大学“超精密制造研究中心”隶属于上海交大机械与动力工程学院、以及机械系统与振动国家重点实验室,由蒋向前院士担任名誉主任、朱利民教授担任研究中心主任。 中心于2020年成为国家数字化设计与制造创新中心上海分中心,并于2022年获批上海市微纳光学制造装备与工艺技术创新中心。 团队包括院士1人、长江学者/杰青1人、四青人才4人等,主要面向光学、半导体、医疗健康等领域开展超精密加工、成型、镀膜和检测,以及相应装备仪器方面的研究与开发。