中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司创建于1958年,是中国科学院控股的高新技术企业。 公司专注于超高真空和洁净真空技术,主要从事真空科研仪器设备和干式真空泵的研发及生产,服务国家前沿科学研究和集成电路等战略产业,是国内真空行业和集成电路装备关键核心部件领域的领军企业,总部位于辽宁省沈阳市,在北京、上海、广州、深圳、南通设有子公司和分支机构。